與螺桿式緊縮機(jī)類似，螺桿式干式真空泵的工作進(jìn)程可分為吸氣、緊縮和排氣三個進(jìn)程。跟著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對互相嚙合的齒相繼結(jié)束相同的工作循環(huán)，如今以其中一對齒來說明。

 

吸氣進(jìn)程：

 

陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

 

緊縮進(jìn)程：