一般高純氣體輸送系統(tǒng)的質(zhì)量控制主要由壓力試驗(yàn)、氦泄漏檢測(cè)、水分分析、氧分分析和顆粒度分析組成,有些特殊的場(chǎng)合還會(huì)涉及到總碳?xì)浠衔锏任镔|(zhì)的分析測(cè)定。一些工業(yè)氣體系統(tǒng)還會(huì)涉及到X射線探傷等檢查。本文主要針對(duì)高純氣體系統(tǒng),對(duì)于工業(yè)氣體系統(tǒng)的質(zhì)量控制暫不作討論。
高純氣體系統(tǒng)的壓力測(cè)試,主要是為了檢查氣體系統(tǒng)的氣密性及耐壓性,為避免污染,高純系統(tǒng)壓力測(cè)試采用氣壓試驗(yàn),不可采用水壓試驗(yàn),不得使用檢漏液。試驗(yàn)氣體應(yīng)采用高純氮?dú)饣驓鍤?不可采用氦氣。試驗(yàn)用壓力計(jì)已經(jīng)校驗(yàn),并在校檢期內(nèi)。試驗(yàn)用壓力表,直徑應(yīng)大于150mm。對(duì)于低壓(<150p sig),要求最小刻度為1p sig;對(duì)于高壓(>500p sig),最小刻度可采用5p sig的刻度;壓力測(cè)試分耐壓測(cè)試和保壓測(cè)試兩種。耐壓測(cè)試采用設(shè)計(jì)壓力的115%,時(shí)間30m in。保壓測(cè)試采用設(shè)計(jì)壓力的90%,時(shí)間24h;特氣系統(tǒng)的測(cè)試壓力最高不超過(guò)2000p sig,一些超高壓系統(tǒng)壓力測(cè)試一般加增壓泵輔助增壓的方式進(jìn)行?？紤]溫度修正后,壓降值不得超過(guò)1%。
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